在微系統技術領域中的產品開發需要多種微技術的共同發展。例如需要微型機械零件、微型光學零件和微型電子部件的共同努力才能完成。微型的數字攝像機就需要上述各個微型技術的通力合作。微型技術領域中產品需求量的增加也帶動了微型機械產品需求量的增加，從而對機械產品的生產加工提出了更高的要求。因此，微型產品生產工藝、微型結構件的生產制造和微型部件的研制開發是急待增強的新領域。

高硬度微型零件的機械加工，因微型結構件有限的可加工性、極高的精度和很小的制造公差，所以是一項非常困難的加工任務。在工業化大批量生產中，微型結構件最主要的生產工藝方法是輥壓、微壓鑄、熱沖壓等等。在高耐磨微型零件結構的加工中，除了磨削和激光切削方法以外，電火花腐蝕加工也是一種可行的微型結構件加工工藝。在電火花腐蝕加工中，利用微型成型電極的電火花腐蝕加工和微型線切割加工，由于其工藝方法在微型系統機械零部件、結構件加工中的特性而得到廣泛應用。這兩種加工工藝方法與被加工工件材料的性質無關，不受工件材料的影響，并且幾乎不產生切削力，因此可以生產加工出非常小的結構件。

微電火花腐蝕加工的概念（縮寫為μ－EDM）表示的是利用電火花腐蝕加工的方法生產加工微型工件和微型結構件，它是機械加工中電火花腐蝕加工在微型加工領域中的一種應用。在微電火花腐蝕加工中，被加工工件的輪廓尺寸明顯的小于1mm。微電火花腐蝕加工與傳統電火花腐蝕加工的區別首先是非常小的電極，除此以外就是與微型工件、微型結構件電火花加工相適應的電氣參數和生產工藝參數。由于微型工件的體積和尺寸非常小，所有的加工工藝參數都不能超過工件熱負荷極限的限制。這就是說：要減少放電電能，減少電流密度。

現代化的電火花腐蝕加工設備除了配備有電流可調的標準電機，可進行大功率的電火花腐蝕加工以外，還附加了張馳振蕩器，可用于微電火花腐蝕加工和表面精密加工。這種電容式的微型振蕩器可以根據電氣傳導距離的放電電容量、分布電容，產生很小的放電能量。最小為0.1μJ/每個放電過程；最小的工作電流0.1A；最短的放電持續時間為50ns；以及放電頻率達到10MHZ。它可實現的最小電火花間距達15μm。目前，利用微電火花腐蝕加工工藝可以達到的最小結構尺寸約為20μm，日本的研究人員已經成功的在厚度為10μm的鋼質薄片上利用微電火花腐蝕加工工藝加工出了直徑為5μm的孔。在加工這種孔時，他們充分控制了電氣導線和夾具系統在電火花腐蝕時的放電電容，使它小于10pF。在微電火花腐蝕加工中，機床只允許有非常小的放電電容，例如利用陶瓷夾具，屏蔽了的電氣導線，來減少機床系統的放電電容；電容和電路板等，也應嚴格在空間上與加工電極分割開來。
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