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液壓系統一直存在故障率高、故障檢測定位困難的問題。常用的液壓系統振動信號診斷技術、油液分析診斷技術已無法準確獲得反映液壓系統運行狀態的流量、壓力等關鍵參數及其變化；傳統的液壓介入式測量方法，檢測接口有限，拆裝困難，而且影響系統的動態特性。
而流量是液壓系統的重要參數之一，其大小直接反映液壓系統運行狀況的好壞。通過測量系統流量實現液壓系統的實時監控，以保證液壓系統的正常運轉，同時也便于診斷液壓系統故障。因此檢測液壓系統的流量具有重要意義。
2 時差法測液壓流量原理
超聲波用于流體的流速測量有許多優點。和傳統的機械式流量儀表、電磁式流量儀表相比它的計量精度高、對管徑的適應性強、非接觸流體、使用方便、易于數字化管理等等。近年來，由于電子技術的發展，電子元氣件的成本大幅度下降，使得超聲波流量儀表的制造成本大大降低，超聲波流量計也開始普及起來。經常有客戶詢問有關超聲波流量測量方面的問題。作為普及，我們將陸續撰寫一些專題文章，來介紹一些相關知識，以便推廣和普及超聲波流量技術的普及和提高。
時差法的測量原理為：超聲波在流體中的傳播速度與流體流動速度有關，據此可測量流量。在流速v的流動媒質的上、下游分別放置超聲波換能器1和換能器2,結構如圖1所示。

換能器l和換能器2間距為L,管道直徑為D,L與v之間的夾角為θ。當換能器2接收換能器1發送的超聲脈沖時，超聲沿L的傳播速度為（c-v），其中c是靜止媒質中的超聲波速度。超聲波逆流由換能器l傳輸到換能器2的時間為：

將換能器的接發功能調換，換能器2發送超聲脈沖，換能器l接收超聲波順流由換能器2傳輸到換能器1的時間：

于是，逆流和順流的時間差為：

因為超聲波在液體里的傳播速度為***0m/s,而流體速度在不是很高的情況下，可認為：則式（3）化簡為：
這樣，液體平均流速v就可由聲時差△t確定，即在c和x恒定的前提下，v與△t成線性。再根據流量

信號采集與處理單元主要由信號調理器、DSP接口板、BCDGPIB數據轉換單元、1 253增益相位分析儀、PM3384四通道數字-模擬組合式示波器以及監控計算機等組成，負責來自傳感器信號的隔離、放大、濾波、采集、處理等功能。

　　信號調理器除完成來自傳感器或二次儀表模擬信號的放大、隔直、濾波等功能外，它還提供模擬信號的隔離功能，有效地消除了由于傳感器地網絡對測試系統的影響。伺服放大器的輸入、輸出及先導閥閥芯位移、主閥閥芯位移信號通過調理器隔離后與測試系統相連，從而避免了測試系統對伺服閥及伺服放大器的影響，保證了伺服閥和伺服放大器的正常工作及參數調節的獨立性�！　≡贒SP接口板采集來自信號調理器的模擬信號的同時，監控計算機通過BCDGPIB 數據轉換單元采集來自二次儀表的BCD數字量，這樣可以方便地實現模擬量的在線校準和調零。伺服閥的靜態特性曲線使用數字量校準后的模擬量來繪制，從而既保證了伺服閥靜態特性的數據準確性，又保證了伺服閥靜態特性曲線的分辨率和完整性。

　　頻率特性可以由1253增益相位分析儀完成，結果通過IEEE488總線傳送到監控計算機進行二次處理后由監控計算機進行顯示、打印等輸出。

　　階躍特性由PM3384四通道-模擬組合式示波器采集，然后通過監控計算機分析處理后顯示、打印等。

　　(5) 檢測結果輸出單元

　　X-Y記錄儀、大屏幕顯示器、打印機以及PM3384四通道-模擬示波器等構成測試系統的檢測結果輸出單元。
4　試驗回路及實驗

　　(1) 靜態特性試驗回路及實驗

　　電液伺服閥的靜態特性試驗主要包括無載控制流量特性、壓力增益特性以及內泄漏特性等內容，從這3條特性曲線上，可以求得電液伺服閥的流量增益、線性度、滯環、對稱度、極性、壓力增益、零偏以及內泄漏等特性參數。