PGM系列皮拉尼真空變送器 選型資料

PGM系列皮拉尼真空變送器可以從大 氣壓測量到中低真空。PGM系列具有良好 的精度、寬量程范圍、優越的長期穩定性和壽命， 且成本低廉，與市場上其他皮拉尼規相比具有很 高的性價比優勢。 這一顆傳感器元件是基于POSIFA的第二代 MEMS 熱導率芯片設計而成。芯片基于世界領先 的精微加工工藝制作而成，具有優異的精確度和 一致性。這顆芯片可以測量熱導，其上印刷有集 成的測溫電路，具有良好的靈敏度和重復性。由 于工作溫度很低，所以相比于燈絲原理的皮拉尼規，PGM 系列更能耐受污染物。

PGM系列的一個重要特點就是可以更 換真空探頭。這個探頭中裝有感測元件和處理電 路，并且經過專門標定。如果 PGM系列產 品被應用到高濃度污染物環境中時，定期更換探 頭可以未客戶節省大量時間成本和系統維護成本。

特點：

? 量程：10-4Torr~大氣壓(1.3x10-4mbar~大氣壓)

? 良好的精度和重復性

? 可調整輸出曲線，做到即插即用

? 由于工作溫度低而更耐污染

? 經過溫度補償

? 可以更換探頭，降低使用成本

應用：

? 凍干機

? 質譜儀

? 蒸餾設備

? 低溫儲氣瓶、儲氣罐

? 熱處理/真空爐

? 采樣室真空系統

支持替代型號：