常用真空計 電阻/皮拉尼精密變送器 真空規管

選型注意事項

在真空技術中，沒有任何一種單一的測量方法能夠涵蓋整個壓力范圍。所以需要使用不同的傳感器。真空計的選擇標準是基于各種條件的

圖片

容器中氣體總壓強等于各氣體分壓強之和�？倝簭姕y量方法可分為直接法和間接法兩種。

直接法利用液柱差、機械變形等原理直接測量壓強，包括液位壓強計、壓縮式真空計、彈性元件真空計等。根據前兩種儀器測出的物理量可算出壓強值，屬于絕對真空計。

間接法利用氣體某些物理性質（如熱傳導、粘滯性、電離及光散射效應等）來測量壓強，包括熱傳導真空計、粘滯真空計及電離真空計等。在真空技術中使用的真空計絕大多數采用間接法，這些真空計必須用絕對真空計或其他方法校準。對于用間接法測量的真空計，由于不同種類氣體的物理性質不同，即使在相同壓強下，壓強讀數也隨氣體而異，因此要用相應的氣體來校準。當被測氣體不是單一成分時，這些真空計的讀數的含義較為復雜。由于一般真空計校準時所采用的氣體是純氮，因此這些真空計的讀數在未經氣體種類修正之前統稱為等效氮壓強。

真空度單位的換算公式：1Torr≈1.333mbar≈133Pa

在真空技術中，沒有任何一種單一的測量方法能夠涵蓋整個壓力范圍。所以需要使用不同的傳感器。真空計的選擇標準是基于各種條件的，如：

要檢測的壓力范圍

氣體組成：惰性或腐蝕性、氧化性

所需精度和可重復性

環境條件，如烘烤溫度，干擾，放射性

在選擇和安裝真空計時，還必須考慮其特性和真空測量的特殊性：

由于真空室中存在潛在的壓力梯度，選擇適當的安裝位置。

表面和密封材料呈現脫氣現象。因此真空計可指示的壓力高于真空室壓力。連接法蘭因此應該盡可能的短，且密封件數量盡量少。

電離真空計可以具有抽運效應，因此指示的壓力低于真空室中的實際壓力。

冷陰極真空計具有固有的濺射效應，這在中真空范圍內與重型氣體（如氬）一起操作時尤為明顯。這可導致不一致和不準確的讀數。

當烴類存在時，電離真空計受到有機分子分解產物的污染。如同濺射效應一樣，讀數不正確或不一致。必須選擇電離真空計的開關點，以避免因上述現象導致的污染。

強磁場和電場會影響真空計的功能。這尤其適用于電離真空計。

為能夠產生超高真空，必須對真空設備，包括真空計進行烘烤。必須遵守技術數據中規定的最大烘烤溫度和條件。

使用其他測量原理的，通�？梢愿鼡Q傳感器。受到污染，冷陰極真空計可以很容易地拆卸和清洗；熱陰極真空計與皮拉尼真空計通常更換燈絲或傳感器。