Parker天然氣調壓閥veriflo減壓閥

派克漢尼汾公司veriflo劃分介紹了bfr5k氣體調整器系列。是的bfr5k響應的創建需要一個小，高流量，高性能半導體加工調節器。

 這個國家的最先進的設備的基礎上的知識—在veriflo平方加工獲得的邊緣調節線提供清潔的操作—世界上可利用的氣體成分。的bfr5k提供穩定出口壓力在各種各樣的流動條件下

率高5000 SLPM。

獨特的平衡閥設計允許調節器保持出口壓力不改變設置在上游壓力下。

特征：

標準的316L不銹鋼支架

321不銹鋼波紋管。

高流量小容量壓力降。

平衡閥芯為最小

供給壓力效應。

為了提升加束縛隔膜安全。

颶風清理“近乎絕對”污染控制。

能夠在很寬的范圍內工作的

流量從100到10000 SLPM。

建筑設計與材料確保與半導體的兼容性大宗氣體。

材料

閥體。........“vericlean”，veriflo的高純度

。..............316L型不銹鋼TM

座椅。..............................PCTFE

貝洛斯：

內。........................鉻鎳鐵合金?

七百一十八外。..................321不銹鋼

提升和裝飾。. . ........“vericlean”，veriflo的高純316L不銹鋼

操作條件

最大入口壓力。............500 psig。

出口壓力。..................0-200表壓

溫度。....- 40?F到150?F（- 40?C到66?C）

表面光潔度

標準的RA。........... . ....10英寸（25微米）或以下

可選的RA。..............EV = 5微英寸（13微米）或以下