冷鏡式露點儀不同水份含量的氣體在不同溫度下的鏡面上會結露。采用光電檢測技術，檢測出露層并測量結露時的溫度，直接顯示露點。鏡面制冷的方法有：半導體制冷、液氮制冷和高壓空氣制冷。冷鏡式露點儀采用的是直接測量方法，在保證檢露準確、鏡面制冷高效率和精密測量結露溫度前提下，該種露點儀可作為標準露點儀使用。目前國際上最高精度達到±0.1℃(露點溫度)，如歐伯特公司的S8000，S4000、Optidew Vision、Optidew等，一般精度可達到±0.5℃以內。
紅外露點儀利用氣體中的水份對紅外光譜吸收的特性，可以設計紅外式露點儀。目前該儀器很難測到低露點，主要是紅外探測器的峰值探測率還不能達到微量水吸收的量級，還有氣體中其他成份含量對紅外光譜吸收的干擾。但這是一項很新的技術，對于環境氣體水份含量的非接觸式在線監測具有重要的意義。如美國米科公司的都挺好。半導體傳感器露點儀 每個水分子都具有其自然振動頻率，當它進入半導體晶格的空隙時，就和受到充電激勵的晶格產生共振，其共振頻率與水的摩爾數成正比。水分子的共振能使半導體結放出自由電子，從而使晶格的導電率增大，阻抗減小。利用這一特性設計的半導體露點儀可測到-100℃露點的微量水份。
露點儀常用于這幾個行業，凈化行業：氣體干燥設備：所有的干燥機都必須檢測氣體的露點，以便對氣體的濕度進行控制。容器及管道干燥：大型容器如鍋爐、變壓器、存儲箱，為了防止泄露，常需要作安全性實驗。實驗后，需要通入干燥的熱空氣（或氮氣）干燥容器以防其生銹。在干燥結束后，需要露點儀測量其濕度。電力行業：發電站：利用氫氣良好的導熱性來代替空氣冷卻發電機，以提高發電機的輸出功率。由于發電機帶有高壓，所以氫氣必須很干燥。而用露點儀不僅可以測量濕度還可以作為水冷卻系統的泄露檢測。