AMAT 0041-32713產品簡介

AMAT 0041-32713是應用材料公司（Applied Materials）開發的渦輪分子泵控制器卡，專為半導體制造設備的真空系統設計，負責精密控制渦輪分子泵的轉速、壓力及流量參數，確保工藝腔室達到高真空環境。該產品兼容多品牌泵體，支持高可靠性運行，是半導體刻蝕、薄膜沉積等工藝的核心控制模塊。

主要特點和優勢

高精度真空控制：采用數字信號處理技術，實時監測渦輪分子泵轉速與腔室壓力，精度達±0.1 Pa，滿足半導體工藝對真空環境的嚴苛要求。

多品牌兼容性：適配Pfeiffer、Edwards等主流品牌渦輪分子泵，支持模塊化配置，適配不同設備型號的泵體參數需求。

抗干擾設計：通過電磁屏蔽與信號隔離技術，抵御工業環境中的電磁干擾，確保控制信號穩定傳輸。

智能故障診斷：內置自檢功能，可識別泵體過載、軸承異常等故障，實時生成報警信息并建議維護策略。

長壽命與低維護：采用工業級元器件，工作壽命超過5萬小時，支持帶電熱插拔更換，減少停機時間。

技術規格

型號：0041-32713

功能定位：渦輪分子泵控制卡

控制參數：

轉速范圍：1000-120,000 RPM

壓力監測范圍：10?3Pa至10?Pa

流量控制精度：±5%

通信接口：

工業總線：EtherCAT、Profibus-DP

人機界面：RS-485串口（Modbus協議）

環境參數：

工作溫度：0～60℃

防護等級：IP54（防塵防濺水）

電源要求：24V DC冗余供電，支持過壓/欠壓保護

應用領域

半導體制造：集成于刻蝕機、CVD（化學氣相沉積）設備，維持工藝腔室高真空環境，保障晶圓加工精度。

真空鍍膜：控制鍍膜機真空系統，優化薄膜均勻性與附著力。

科研設備：用于同步輻射光源、質譜儀等高真空實驗裝置，確保極端環境下的穩定運行。

工業清洗：支持真空清洗設備的壓力調控，提升清洗效率與潔凈度。

相關產品

AMAT ASM 192 T2D+控制器：與0041-32713協同工作，實現真空系統與工藝參數的聯動控制。

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Edwards AXI 400i真空計：提供壓力數據反饋，與0041-32713形成閉環控制鏈。