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<秒1響應時間>讀數精度的1%壓電控制閥.金屬密封結構
?緊湊型尺寸1/8“面密封或壓縮配件波特D2000i系列液體質量流量控制器的地址
半導體制造中液體前體的快速精確控制的必要性過程,以及生物技術、制藥中的各種應用,
化工、石化和表面處理工業。閉環數字控制電路與積分比例壓電驅動相結合
控制閥,提供不到1秒的響應時間和穩定的控制在低。潔凈室總成和所有金屬密封結構確保高純度和泄漏完整性。一個獨特的層流旁路和傳感器組件提供準確的
流體溫度僅上升5°c的測量。緊湊的封裝尺寸該D2000i系列簡化系統集成。一個D2000i系列液體質量流量計只適用于需要流量監控的應用程序。
規格
響應時間:<1秒至5%以內
速率(最多6個儲存閥跳變電壓)
準確度和線性度:讀數的1%
重復性:在任何情況下,速率為0.2%。
在恒定的溫度
操作溫度范圍
可調范圍(控制范圍):20:1
(5% - 100%滿刻度)(精度和控制)環境溫度和工作溫度
范圍:- 10至40°C(+ 14至104°F)
最大允許工作壓力:125 psig
溫度系數:<0.1%°C
設定輸入流量信號輸出:0-5 VDC(2K歐姆最低負載電阻)
流量輸出信號)
電源要求:(電流消耗小于200 MADC):+ 15(10%)VDC
泄漏完整性:1×10- 9ATM。CC / sec.he
熱身時間:20分鐘
建筑材料—
(濕表面):車身- 316L不銹鋼
傳感器總成- 316L不銹鋼
閥門組件- 316L不銹鋼
O型環- 316L不銹鋼