CIQ氣動超高真空蝶閥
CIQ氣動超高真空蝶閥用于接通或切斷真空管路中的氣流。碟閥經過兩次動作完成關閉或打開蝶門的過程，閥體的兩面沒有正反面安裝方向，閥門的壓強范圍可拓寬到2x105-1.3-7x10Pa.適用介質為純凈空氣或非腐蝕性氣體。
主要技術性能
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適用范圍： |
2x105~6.7-7x10Pa |
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閥門漏率： |
≤1.3x10-7 Pa.L/S(正反向) |
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適用溫度： |
-30~+150℃ |
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安裝狀態： |
任意 |
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安裝方向： |
任意 |
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開啟壓差： |
2x105Pa. |
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開門角度： |
0-90° |
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啟閉時間： |
3S |
主要零件材料
閥體、蝶門、閥桿：不銹鋼
密封件：氟橡膠，波紋管（軸封）
外形及連接尺寸(mm)（GB6070）
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型號 |
DN(mm) |
D |
Do |
D1 |
B |
H |
B1 |
n-Mc |
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CIQ-63 |
63 |
130 |
110 |
68 |
40 |
235 |
62 |
4-M8 |
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CIQ-80 |
80 |
145 |
125 |
85 |
40 |
240 |
62 |
8-M8 |
|
CIQ-100 |
100 |
165 |
145 |
105 |
40 |
240 |
62 |
8-M8 |
|
CIQ-160 |
160 |
225 |
200 |
165 |
56 |
310 |
75 |
8-M10 |
|
CIQ-200 |
200 |
285 |
260 |
208 |
70 |
360 |
75 |
12-M10 |
|
CIQ-250 |
250 |
335 |
310 |
258 |
74 |
396 |
75 |
12-M10 |
|
CIQ-320 |
320 |
425 |
395 |
328 |
94 |
488 |
94 |
12-M12 |
|
CIQ-400 |
400 |
510 |
480 |
410 |
106 |
538 |
114 |
16-M12 |
