1.冷凝泵的再生

1.13n6冷凝泵|凝結水泵|4N6冷凝泵|凝結水泵再生時間

①根據運轉周期, 定期進行再生。

②制冷能力降低時(溫度達不到20K以下; 真空度差), 進行再生。

1.23n6冷凝泵|凝結水泵|4N6冷凝泵|凝結水泵再生種類

①通常再生: 3～8h。

②急速再生: 當泵內含有毒性、腐蝕性、可燃性氣體以及大量的O2水時,泵停止后,進行短時間再生。

1.33n6冷凝泵|凝結水泵|4N6冷凝泵|凝結水泵急速再生的實施

①關閉高閥, 將加熱N2或室溫N2氣由Purge Gas口導入泵腔, 被稀釋的毒性氣體就會通過排氣閥放出。這時, 冷板的溫度若達不到77K以上, 泵室的壓力就上不去, 氣體也就無法釋放出來, 而又會被凝縮在冷頭上。

用N2進行沖洗時, 最好采用專用的放氣管道來排出N2氣。不得已要從安全閥釋放時, 由于易產生真空泄露, 所以, 有必要對安全閥進行清洗。

②用加熱毯進行加熱。但要注意加熱時, 溫度不能超過70℃。否則, 會損壞冷凝泵。

23n6冷凝泵|凝結水泵|4N6冷凝泵|凝結水泵.冷凝泵的點檢

①冷凍機運行是否平穩。

②馬達旋轉是否為順時針方向。

③溫度、真空度是否正常。

④泵體外側是否有冷凝水存在, 否則, 需進行再生。

⑤H2蒸汽壓溫度計在室溫狀態(即暴露在大氣中) 的值是否在4.7～5.7K間。否則, 溫度計可能有問題。

3.3n6冷凝泵|凝結水泵|4N6冷凝泵|凝結水泵壓縮機點檢

①He氣壓、水流量、水溫、油位是否正常。

②壓縮機運轉是否正常。

4.3n6冷凝泵|凝結水泵|4N6冷凝泵|凝結水泵故障查找

4.1真空不良可能產生的原因。

①真空安全閥泄露。

②冷板安裝不正確、劣化、再生不良。

③前級泵抽氣時間過長, 使油返回到真空室后又被吸附到冷板上。

④制冷溫度達不到20K以下: a1冷凍機制冷能力劣化; b1壓縮機壓縮能力降低(很少發生) ;c1He氣壓力過低; d1He氣充填壓力過高。

⑤若仍然不行,則可能是冷凍機的相位角有偏差。這時,需按照以下步驟重新進行調整(參照圖4): a1首先, 使活塞連桿處于頂部死區ê 的位置(偏心輪最高點) ; b1然后, 把偏心輪逆時針方向旋轉30°(é 的位置) ,使低壓閥閉合,高壓閥處于閉合/開啟臨界狀態。此時, 臂式閥桿處于懸空狀態, 即, 沒有接觸閥芯。用手伸進視鏡窗孔中轉動二個大軸承, 應感到很輕; c1若仍然感到很重, 則可擰掉二側的堵頭, 通過調整臂式閥桿的調整螺釘來加以修正。使低壓閥閉合, 高壓閥處于閉合?開啟臨界狀態(靠近高壓管的一側為高壓閥。即, 第二個臂桿)。

4.2低溫泵動作不良可能產生的原因,

①馬達沒有運轉(溫度仍為室溫)。a1由壓縮機來的電源無電; b1機械性能不良(曲軸歪曲或折短、軸承損壞) , 尤其是老型號的泵; c1雜質進入馬達內, 卡住馬達; d1水分進入膨脹室, 使活塞桿膨脹卡住; e1外加加熱器急速再生溫度超過70℃, 使活塞桿膨脹卡住(當然, 溫度恢復正常后, 故障也會隨之消失)。

②馬達運轉異常。a1由壓縮機來的電源電壓不穩; b1水進入泵內(幾分鐘就會出現聲音異常) ; 處理: 分解冷凝泵; c1空氣進入泵內(溫度達到20K時才會出現聲音異常) ; 處理: 用He氣置換。注: 置換前, 應先切斷電源, 再斷開高壓管(對一臺壓縮機帶多臺冷凝泵而言)。在冷凝泵恢復常溫過程中, 要注意壓力變化, 若壓力超過250Pa, 就要降壓, 使它一直保持在250Pa, 但不能太低。d1機械性能不良(冷凍機壽命已到)。

③He泄漏可能產生的原因: a1自密封接頭密封不好(最常見) , 可用Snoop液體檢漏; b1壓縮機、連接軟管、冷凝泵有泄漏。

3n6冷凝泵|凝結水泵|4N6冷凝泵|凝結水泵檢查方法:

a1確認整個系統漏氣量, 比如, 每小時、每天漏率。然后再將壓縮機與冷凝泵分開, 先看壓縮機泄漏是多少, 然后與整個系統漏率相比, 確認是哪部分漏; b1用水泡法或Snoop液體檢查軟管是否漏氣;c1若前二項檢查沒有問題, 則是冷凝泵泄漏。

5.100NB60冷凝泵 經典品牌冷凝泵的交換

①首先, 使泵恢復常溫。

②100NB60冷凝泵 經典品牌排出毒氣, 在前級泵抽的過程中用N2氣沖洗。

③在冷凝泵與大氣連通后, 斷開壓縮機與冷凝泵連接的電、氣接頭。

注: a1100NB60冷凝泵 經典品牌記住He高、低壓管的相互位置。b1在壓縮機運轉情況下換泵時, 要先斷高壓后斷低壓。否則, 高壓不能迅速釋放, 馬達電源會自動切斷, 并使真空安全閥打開。

④拆、換泵。

注: 在有R1F電源的設備中使用的冷凝泵中,其接口法蘭中的密封圈一般不使用真空脂。否則, 易打火燒焦密封圈, 引起漏氣。

⑤100NB60冷凝泵 經典品牌重新連接冷凝泵的電、氣接頭。

注: a1先連低壓側接頭, 再連高壓側接頭。b1盡量不要拆掉壓縮機一側的軟管接頭。以避免高、低壓管混用, 使沉積在低壓管中的雜質通過高壓接頭跑到冷凍機中(因為, 低壓管是整個大循環中的最后一環,雜質容易沉積于此處)。c1不能把壓縮機出來的高壓?進氣接頭錯接在冷凝泵的低壓?出氣接頭中。否則, 不制冷。甚至, 會損壞冷凝泵。

6.壓縮機活性碳吸附器的交換

應定時更換, 且換后要注意檢查He氣壓, 并及時進行檢漏。

7.100NB60冷凝泵 經典品牌充He氣(純度:99.999; 壓力:18kg/cm2)

充He氣時, 手拿的He管應做自沖洗(一堵一放的反復5次)。并且, 在擰接頭時, 不能一下子擰緊, 應先慢慢擰, 以徹底清除接頭內的空氣。

注: 若壓縮機He氣有泄漏, 則應先對壓縮機抽真空(用2.5L?s 真空泵)后, 再充He氣。