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estinghouse（西屋）： OVATION系統、WDPF系統、MAX1000系統備件
Foxboro（�？怂共�羅）
Siemens(西門子)：Siemens MOORE， Siemens Simatic C1，Siemens 數控系統等

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Bosch Rexroth（博世力士樂）：Indramat，I/O模塊,PLC控制器,驅動 模塊等。

Motorola（摩托羅拉）：MVME 162、MVME 167、MVME1772、MVME177等 系列。

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MKS ASTeX ASTRONi Remote Plasma Source AX7670 Rev.D

MKS Astex AX2110 1000w Microwave Power Generator

MKS ASTeX ASTRONhf Remote Plasma Source AX7640-01 Rev.A Rebuilt 0190-

73469

MKS ASTEX ASTRON FI20620-1 REMOTE PLASMA SOURCE GENERATOR #2

MKS ASTeX ASTRON2L Remote Plasma Source FI20620-1-C Rev.G rebuilt 0920

-00013

MKS ASTeX ASTRON2L Remote Plasma Generator FI20620-1 Rev.D working 

NEW ASTeX 5kW 2.0 MHz Variable Source RF Generator MKS

MKS Astex AX7650 ATOMIC FLOURINE GENERATOR, OEM BOX, AMAT 0920-01120

MKS ASTeX ASTRON2L Remote Plasma Source FI20620-1 Rev.G 0920-00013 used 

656hours

MKS ASTeX ASTRONe Remote Plasma Source Working

MKS ASTeX ASTRONex Remote Plasma Source FI80131 working

MKS ASTeX ASTRONex AX7685-20 Rev. A Remote Plasma Source 0190-34542 

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MKS ASTeX ASTRONex Remote Plasma Source FI80131 Rev.C working 0920-

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MKS ASTeX ASTRON2L Remote Plasma Generator FI20620-1 Rev.D working 

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MKS Astex Reactive Astron Gas Generator Reworked

MKS ASTex AX8200F Ozone generator AX8200A-CE used

Refurbished ASTeX MKS AG1111 4.8kV power supply w/certificate

NEW MKS/Astex WG21100 Water-Cooled Dummy Load


MKS ASTeX ASTRONex FI80131 Remote Plasma Source Generator 0920-00131 

Rev.D as-is

MKS ASTeX ASTRONi AX7670-06 Remote Plasma Source Rev.A 0920-00100 as-is

MKS ASTeX ASTRONex Remote Plasma Source AX7685-20 Rev.A as-is 0190-

34542

Astex 1000w magnetron head with isolator and three stub tuner - mks 

daihen

MKS ASTex AX8200F Ozone generator used

MKS ASTeX S-1500i: 1500 Watt Microwave Power Generator

MKS ASTeX Smart Power 1.8 kW HV Microwave Power Supply: FI20161-1 or 

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MKS ASTeX ARX Microwave Control Module AMAT 0190-00398

MKS AX8500 Delivery System Astex Control Interface

MKS ASTeX Ozone Generator AX8400 Rev. T as-is

MKS Astex AGL Microwave w/Plasma D12691-R 0190-09307

MKS ASTeX SF controller ABX-X450 rev F

ASTeX ETO SSD Driver Board ARX-X267 ABX-X348 Solid State RF MKS / AMAT 

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ASTEX MKS CONTROL UNIT PCB A5, X226, LIQ 34-0018-SP-02