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          二維材料設備CVD系統
          二維材料設備CVD系統
          產品價格:¥55500(人民幣)
        1. 規格:BTF-1200C-II-SL-CVD
        2. 發貨地:合肥
        3. 品牌:
        4. 最小起訂量:1套
        5. 免費會員
          會員級別:試用會員
          認證類型:企業認證
          企業證件:通過認證

          商鋪名稱:安徽貝意克設備技術有限公司

          聯系人:李曉麗(小姐)

          聯系手機:

          固定電話:

          企業郵箱:1085847693@qq.com

          聯系地址:安徽省合肥市科學大道110號

          郵編:230088

          聯系我時,請說是在焊材網上看到的,謝謝!

          商品詳情

            此款CVD系統前端配有可加熱到400℃的預加熱器,輔助二維材料蒸發,后端為溫區管式爐,溫度控制精確,操作簡便。并配質量流量計系統和真空系統,可以準確的反應腔體內部的氣體壓力和氣體流量,對于做低壓CVD實驗非常實用,重復性好。

            硫粉預熱器

            工作溫度:400℃

            最高溫度:1200℃

            最快升溫速率:≤30℃/min

            推薦升溫速率:10℃/min

            控溫方式:智能化30段可編程控制

            工作電壓:AC220V

            額定功率:800W

            控溫精度:±1℃

            加熱元件:電阻絲

             

             

             

             

             

             

             

             

             

            加熱區參數:

             

            額定功率:5kw

            最高溫度:1200℃

            工作溫度:1100℃

            最大升降溫速率:≤30℃/min

            爐管尺寸:高純度石英管Φ25\Φ50\Φ60\Φ80\Φ100X1650mm  (管徑可選)

            加熱區長度:200+200mm  

            恒溫區長度:290mm

            控溫方式:模糊PID控制和自整定調節,智能化30段可編程控制,具有超溫和斷偶報警功能。

            標準配件:石英管1支,莫來石管堵2對,不銹鋼法蘭1套,硅膠密封圈2套,高溫手套1副,坩堝鉤1支;

            尺寸:約 550×380×600 mm(爐子)

            約:1700×380×620 mm(爐子+滑軌)

            可選配單溫區、雙溫區、三溫區等加熱區。

             

             

             

             

             

             

             

            氣路系統參數:

             

            質量流量計參考量程(N2)100sccm200sccm、500sccm (量程可選)

            準確度:±1.5%

            線性:±0.51.5%

            重復精度:±0.2%

            響應時間:氣特性:14 Sec,電特性:10 Sec

            工作壓差范圍:0.10.5 MPa

            最大壓力:3MPa

            接口:Φ6,1/4''

            顯示:4位數字顯示

            工作環境溫度:5~45高純氣體             

            內外雙拋不銹鋼管:Φ6

            壓力真空表:-0.10.15 MPa, 0.01 MPa/

            截止閥:Φ6

            連接頭類型:雙卡套不銹鋼接頭。

            可選配一路、兩路、三路、四路等以上質量流量計。

             

             

             

             

             

             

             

            低真空系統參數:

             

            國產油泵型號:BSV-10

            抽速:10m3/h

            極限真空度:5*10-1pa

            電源:220v 50hz

            電機功率:0.4kw  

            進排氣連接口:KF25

            用油量:1.1L

            電機轉速:1440rpm

            工作環境溫度:5-40℃

            噪音:≤56db

            電阻真空計參數:

            1.配用規管:ZJ-52T電阻規,

            2.測量范圍: 10 5 ~10 -1 Pa,

            3.測量路數: 1路

            4.控制范圍: 5×10 3 ~5×10 -1 Pa,

            5.控制方式:繼電器觸點輸出,負載能力 AC220V/3A (或DC28V/3A)無感負載,

            6.電源: 90-260V/50Hz或220V ± 10% 50Hz,

            7.功耗: 20W

             

             

             

             使用注意事項

             

             

             

             

             

             

            • 爐管內氣壓不可高于0.02MPa 。  
            • 當爐體溫度高于1000時,爐管內不可處于真空狀態,爐管內的 氣壓需和大氣壓相當,保持在常壓狀態進入爐管的氣體流量需小于200SCCM,以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊。
            •  石英管的長時間使用溫度<1100℃。
            •  對于樣品加熱的實驗,不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱,則需時刻關注壓力表的示數,若氣壓表示數大于0.02MPa,必須立刻打開泄氣閥,以防意外發生(如爐管破裂,法蘭飛出等)。
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