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工藝原理與設備生物洗滌法有數種，如圖，視氣體量及活性污泥系統配合情況而異。廢氣量為數十CMM(m3/min)時，可以中壓或高壓活性污泥曝氣鼓風機配合曝氣管，將廢氣直接注入1.-1.5或4.-5.m深之活性污泥混合液中；廢氣量1CMM時，可以填充式或板層式洗滌塔，以活性污泥處理后澄清廢水或活性污泥溷合液吸收排氣中VOCs或臭味成分，再利用活性污泥池將該等污染物氧化去除。生物洗滌塔是一項結合傳統空氣污染控制及廢水處理的技術，其中包含2個單元：洗滌塔及活性污泥分解池，洗滌塔將廢氣中污染物氧氣吸收至液相，再由活性污泥將液相中的污染物質分解。
