Physik Instrumente （PI）帶空氣軸承的PIglide RL薄型旋轉平臺

PI(Physik Instrumente)在所有重要市場中都擁有自己的銷售和服務辦事處。此外，公司還在三大洲設置了納米計量測試裝置。PI Shanghai和PI USA擁有額外的發展和制造資源，可實現對定制設計規格的快速當地反應。

 Physik Instrumente （PI）帶空氣軸承的PIglide RL薄型旋轉平臺

Physik Instrumente （PI）PIglide系列平臺配備伺服驅動器線性電機，電機配置帶預載的空氣軸承和集成線性編碼器。這類非接觸式零件的組合形成了一個無摩擦運動平臺，可提供的性能、質量和使用壽命。
高推動力線性電機可以在幾毫秒內將平臺驅動速度，高承載能力軸承可支承重達60 公斤的有效載荷。該型號中的側面相對、主動預載空氣軸承設計可實現任意方向上的安裝。
應用領域
Physik Instrumente （PI）PIglide定位系統非常適用于高精度應用，諸如半導體或平板顯示器制造中的計量、光子學和精密掃描。
由于運動無摩擦，不會形成顆粒，PIglide平臺非常適用于無塵室應用
花崗巖底座板和隔振系統
A-123.050A1 PIglideAT3線性平臺，空氣軸承，50毫米行程，增量帶正弦/余弦信號傳輸的線性編碼器，20微米傳感器信號周期，無 鐵芯三相線性電機，48伏
Physik Instrumente （PI）A-123.050B1 PIglideAT3線性平臺，空氣軸承，50毫米行程，帶BiSSC信號傳輸的線性編碼器，1納米傳感器分辨率，無鐵芯三相線性電機，48伏
Physik Instrumente （PI）A-123.100A1 PIglideAT3線性平臺，空氣軸承，100毫米行程，增量帶正弦/余弦信號傳輸的線性編碼器，20微米傳感器信號周期， 無鐵芯三相線性電機，48伏
Physik Instrumente （PI）A-123.100B1 PIglideAT3線性平臺，空氣軸承，100毫米行程，帶BiSSC信號傳輸的線性編碼器，1納米傳感器分辨率，無鐵芯三相線性電機，48伏
Physik Instrumente （PI）A-123.150A1 PIglideAT3線性平臺，空氣軸承，150毫米行程，增量帶正弦/余弦信號傳輸的線性編碼器，20微米傳感器信號周期， 無鐵芯三相線性電機，48伏
Physik Instrumente （PI）A-123.150B1 PIglideAT3線性平臺，空氣軸承，150毫米行程，帶BiSSC信號傳輸的線性編碼器，1納米傳感器分辨率，無鐵芯三相線性電機，48伏
Physik Instrumente （PI）A-123.200A1 PIglideAT3線性平臺，空氣軸承，200毫米行程，增量帶正弦/余弦信號傳輸的線性編碼器，20微米傳感器信號周期， 無鐵芯三相線性電機，48伏
Physik Instrumente （PI）A-123.200B1 PIglideAT3線性平臺，空氣軸承，200毫米行程，帶BiSSC信號傳輸的線性編碼器，1納米傳感器分辨率，無鐵芯三相線性電機，48伏
Physik Instrumente （PI）A-123.350A1 PIglideAT3線性平臺，空氣軸承，350毫米行程，增量帶正弦/余弦信號傳輸的線性編碼器，20微米傳感器信號周期， 無鐵芯三相線性電機，48伏
Physik Instrumente （PI）A-123.350B1 PIglideAT3線性平臺，空氣軸承，350毫米行程，帶BiSSC信號傳輸的線性編碼器，1納米傳感器分辨率，無鐵芯三相線性電機，48伏
Physik Instrumente （PI）A-123.500A1 PIglideAT3線性平臺，空氣軸承，500毫米行程，增量帶正弦/余弦信號傳輸的線性編碼器，20微米傳感器信號周期， 無鐵芯三相線性電機，48伏
Physik Instrumente （PI）A-123.500B1 PIglideAT3線性平臺，空氣軸承，500毫米行程，帶BiSSC信號傳輸的線性編碼器，1納米傳感器分辨率，無鐵芯三相線性電機，48伏
Physik Instrumente （PI） A-123.750A1 PIglideAT3線性平臺，空氣軸承，750毫米行程，增量帶正弦/余弦信號傳輸的線性編碼器，20微米傳感器信號周期， 無鐵芯三相線性電機，48伏
Physik Instrumente （PI） A-123.750B1 PIglideAT3線性平臺，空氣軸承，750毫米行程，帶BiSSC信號傳輸的線性編碼器，1納米傳感器分辨率，無鐵芯三相線性電機，48伏

Physik Instrumente （PI） A-63x

?200毫米或300毫米運動平臺直徑

?薄型，60毫米

?偏心和平整度<100 nm

?靜止時可以通過磁性預載自鎖
Physik Instrumente （PI 產品總覽
Physik Instrumente （PI PIglide RL系列的直接驅動式薄型旋轉平臺采用薄型設計，可實現的精度。
可以組合各種選項來創建理想的解決方案，以實現點對點索引或恒速掃描。
RL位移臺提供的行程精度，平坦度和擺動性能。
編碼器（可選）
值編碼器提供明確的位置信息，可立即確定位置。 這意味著在接通過程中不需要引用，從而提高了操作期間的效率和安全性。

?由花崗巖制成的底板和減少振動的系統
光學對準，晶片檢查，晶片對準，測量技術，檢查系統，校準，掃描。
由于無摩擦運動，不會形成任何顆粒，這使PIglide工作臺非常適合無塵室應用。
Physik Instrumente （PI A-635.A100
PIglide RL旋轉平臺，空氣軸承，200 mm運動平臺直徑，低高度，帶正弦/余弦信號傳輸的角度測量系統，31488線/轉，無槽，無刷三相扭矩電動機

Physik Instrumente （PI A-635.B100
PIglide RL旋轉平臺，空氣軸承，200 mm運動平臺直徑，低高度，帶BiSS-C信號傳輸的角度測量系統，傳感器分辨率為0.0015μrad，無槽，無刷三相扭矩電動機

Physik Instrumente （PI A-637.A100
PIglide RL旋轉平臺，空氣軸承，運動平臺直徑300 mm，低高度，帶正弦/余弦信號傳輸的角度測量系統，47200線/轉，無槽，無刷三相扭矩電動機

Physik Instrumente （PI A-637.B100
PIglide RL旋轉平臺，空氣軸承，運動平臺直徑300 mm，低高度，帶BiSS-C信號傳輸的角度測量系統，傳感器分辨率為0.0015μrad，無槽，無刷三相扭矩電動機
 
Physik Instrumente （PIA-62x
§ 無塵室兼容
§ 運動平臺直徑為50毫米300毫米
§ 負載容量達4170牛
§ 偏心度和平面度< 200納米
§ 可水平或垂直安裝
Physik Instrumente （PI）產品概述
PIglide RM系列電機驅動轉臺設計實現高準確性、精度和剛性以及便捷使用，可在任意方向上安裝。 多種選項可組合在一起創建一種非常適用于點對點分度或恒速掃描的解決方案。 RM平臺提供優異的運動精度、平面度和擺動性能。由于無摩擦、無需維護或潤滑，其非常適用于在無塵室中使用。
附件和可選配件

§ 編碼器
§ 可選配偏擺臺
§ 定制安裝法蘭
§ 真空接頭
§ 滑環
§ PIglide過濾器和空氣預處理器
§ 單軸或多軸運動控制器和伺服驅動器
§ 花崗巖底座板和隔振系統
Physik Instrumente （PI）應用領域
光學對準、計量、檢驗系統、校準、掃描
訂購信息
Physik Instrumente （PI）A-621.025A1
PIglideRM轉臺，空氣軸承，50毫米運動平臺直徑，25毫米軸頸長度，帶正弦/余弦信號傳輸的增量角度測量系統，81 92線/轉，無槽、無刷三相力矩電機
A-621.025B1
Physik Instrumente （PI）PIglideRM轉臺，空氣軸承，50毫米運動平臺直徑，25毫米軸頸長度，帶BiSSC信號傳輸的角度測量系統，0.0015微弧度傳感器分辨率，無槽、無刷三相力矩電機
Physik Instrumente （PI）A-623.025A1
PIglideRM轉臺，空氣軸承，100毫米運動平臺直徑，25毫米軸頸長度，帶正弦/余弦信號傳輸的增量角度測量系統，1 5744線/轉，無槽、無刷三相力矩電機
Physik Instrumente （PI）A-623.025B1
PIglideRM轉臺，空氣軸承，100毫米運動平臺直徑，25毫米軸頸長度，帶BiSSC信號傳輸的角度測量系統，0.0015微弧度傳感器分辨率，無槽、無刷三相力矩電機
Physik Instrumente （PI）A-623.050A1
PIglideRM轉臺，空氣軸承，100毫米運動平臺直徑，50毫米軸頸長度，帶正弦/余弦信號傳輸的增量角度測量系統，1 5744線/轉，無槽、無刷三相力矩電機
Physik Instrumente （PI）A-623.050B1
PIglideRM轉臺，空氣軸承，100毫米運動平臺直徑，50毫米軸頸長度，帶BiSSC信號傳輸的角度測量系統，0.0015微弧度傳感器分辨率，無槽、無刷三相力矩電機
Physik Instrumente （PI）A-624.050A1
PIglideRM轉臺，空氣軸承，150毫米運動平臺直徑，50毫米軸頸長度，帶正弦/余弦信號傳輸的增量角度測量系統，2 3600線/轉，無槽、無刷三相力矩電機

Physik Instrumente （PI）A-624.050B1
PIglideRM轉臺，空氣軸承，150毫米運動平臺直徑，50毫米軸頸長度，帶BiSSC信號傳輸的角度測量系統，0.0015微弧度傳感器分辨率，無槽、無刷三相力矩電機

Physik Instrumente （PI）A-627.075A1
PIglideRM轉臺，空氣軸承，300毫米運動平臺直徑，75毫米軸頸長度，帶正弦/余弦信號傳輸的增量角度測量系統，4 7200線/轉，無槽、無刷三相力矩電機

Physik Instrumente （PI）A-627.075B1
PIglideRM轉臺，空氣軸承，300毫米運動平臺直徑，75毫米軸頸長度，帶BiSSC信號傳輸的角度測量系統，0.0015微弧度傳感器分辨率，無槽、無刷三相力矩電機

Physik Instrumente （PI）帶空氣軸承的PIglide RL薄型旋轉平臺